图书馆h含着粉嫩小奶头h漫画,午夜抽搐一进一出,又硬又水多又坚少妇18P,隔壁的少妇2做爰

技術(shù)文章

Technical articles

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章你并不了解小型濺射儀

你并不了解小型濺射儀

更新時(shí)間:2023-04-01點(diǎn)擊次數(shù):1698
小型濺射儀的工作原理是指電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子會(huì)受到電場和磁場作用,產(chǎn)生E(電場)×B(磁場)所指的方向漂移,簡稱E×B漂移,其運(yùn)動(dòng)軌跡近似一條擺線。
  若為環(huán)形磁場,則電子就以近似擺線形式在靶表面做圓周運(yùn)動(dòng),它們的運(yùn)動(dòng)路徑不僅很長,而且被束縛在靠近靶表面的等離子體區(qū)域內(nèi),并且在該區(qū)域中電離出大量的Ar來轟擊靶材,從而實(shí)現(xiàn)了高的沉積速率。隨著碰撞次數(shù)的增加,二次電子的能量消耗殆盡,逐漸遠(yuǎn)離靶表面,并在電場E的作用下沉積在基片上。由于該電子的能量很低,傳遞給基片的能量很小,致使基片溫升較低。
  小型濺射儀包括:氣路、真空系統(tǒng)、循環(huán)水冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)。其中:
  (1)氣路系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射系統(tǒng)應(yīng)包括一套完整的氣路系統(tǒng)。但是,與PECVD系統(tǒng)不同的是,PECVD系統(tǒng)中,氣路中為反應(yīng)氣體的通道。而磁控濺射系統(tǒng)氣路中一般為Ar、N2等氣體。這些氣體并不參與成膜,而是通過發(fā)生輝光放電現(xiàn)象將靶材原子轟擊下來,使靶材原子獲得能量沉積到襯底上成膜。
  (2)真空系統(tǒng):與PECVD系統(tǒng)類似,磁控濺射沉積薄膜前需要將真空腔室抽至高真空。因此,其真空系統(tǒng)也包括機(jī)械泵、分子泵這一高真空系統(tǒng)。
  (3)循環(huán)水冷卻系統(tǒng):工作過程中,一些易發(fā)熱部件(如分子泵)需要使用循環(huán)水帶走熱量進(jìn)行冷卻,以防止部件損壞。
  (4)控制系統(tǒng):綜合控制PECVD系統(tǒng)各部分協(xié)調(diào)運(yùn)轉(zhuǎn)完成薄膜沉積,一般集成與控制柜。




日产精品一卡2卡三卡4乱码| 风韵诱人的岳欲仙欲死在线观看| 岳一夜被你要了六次| 全文辣肉h短篇春野小农民| 特黄aaaaaaa片免费视频| 成年奭片免费观看午夜网站| xl上司带翻译| 伊人久久大香线蕉AV色| 日本少女漫画| 欧美人体艺术视频| 巨大黑人极品videos精品| 无码成人精品区在线观看| googlemap日本| 无码中文字幕一区二区三区| 女人高潮真实叫床声mp3| 最新国产の精品合集bt7086| 娇妻穿开档内裤陪客户| 亚洲精华国产精华精华液| 国产精品无码av无码| 亚洲日本va中文字幕久久道具| av精品一区二区三区| 男男车车的车车网站w98免费 | 最近中文字幕mv免费高清在线 | 亚洲国产成人无码网站大全| 永久免费无码网站在线观看个| 色婷婷亚洲精品天天综合影院| 中文字幕一区二区三区乱码| 丰满少妇被粗大的猛烈进出视频| 色又黄又爽18禁免费网站现观看| 年轻丰满的继牳理伦片中文| 成人区人妻精品一区二区不卡网站| 精品亚洲AV无码啪啪激情| 成人毛片18女人毛片免费看视频 | 丝袜老师办公室里做好紧好爽| 国产仑乱无码内谢| 亚洲色成人网站www永久四虎 | 国产成人无码免费视频在线| 国产嫖妓一区二区三区无码| 邪恶工番口番大全邪恶帝| 女仆穿白丝裸体吃奶玩乳视频| 亚洲av永久无码|