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當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心材料樣品檢測(cè)真空探針臺(tái)KT-Z1604T-RL半導(dǎo)體行業(yè)真空探針臺(tái)

半導(dǎo)體行業(yè)真空探針臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

半導(dǎo)體行業(yè)真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器,半導(dǎo)體,光電,集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。

產(chǎn)品型號(hào):KT-Z1604T-RL
更新時(shí)間:2024-03-29
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1467
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品牌鄭科探

半導(dǎo)體行業(yè)真空探針臺(tái)主要應(yīng)用于傳感器,半導(dǎo)體,光電,集成電路以及封裝的測(cè)試。 廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本。


    半導(dǎo)體行業(yè)真空探針臺(tái)的承載臺(tái)為60x60不銹鋼臺(tái)面,臺(tái)面最高可升溫到最高350℃。真空腔體設(shè)計(jì)有進(jìn)氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動(dòng),三個(gè)方向均可在真空環(huán)境下精密移位調(diào)節(jié),其中X方向調(diào)節(jié)范圍:030mm;y方向調(diào)節(jié)范圍:020mmz方向調(diào)節(jié)范圍:020mm;用戶可根據(jù)需要自行調(diào)節(jié)。使用時(shí)將需檢測(cè)的器件固定在加熱臺(tái)上,再微調(diào)探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)點(diǎn)后,即可進(jìn)行檢測(cè)

真空腔體


加熱型

冷熱型

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側(cè)開

加熱臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

內(nèi)腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺(tái)尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺(tái)間距

75mm

加熱臺(tái)溫度

35-350

-196-350

加熱臺(tái)溫控誤差

±1

真空度

機(jī)械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進(jìn)氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號(hào)接頭

SMA轉(zhuǎn)BNC X 4

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質(zhì)耐壓 ≤500V  漏電流 ≤-10次方安培

探針數(shù)量

4探針

探針材質(zhì)

鍍金鎢針

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

0.01mm

Y軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

0.01mm

Z軸移動(dòng)行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機(jī)

sony 高清

像素

19201080像素

圖像接口

VGA

LED可調(diào)光源

顯示屏

8

放大倍數(shù)

19-135,視場(chǎng)范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm






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