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產(chǎn)品中心

Product Center

真空探針臺

產(chǎn)品簡介

真空探針臺KT-Z160TZ,高溫真空腔探針系統(tǒng)主要用于為被測芯片提供一個低溫或者高溫的變溫測量環(huán)境,以便測量分析溫度變化時芯片性能參數(shù)的變化。腔體內被測芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導體器件接觸空氣所帶來的測試結果誤差。

產(chǎn)品型號:KT-Z160TZ
更新時間:2024-03-29
廠商性質:生產(chǎn)廠家
訪問量:1485
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探

  真空探針臺KT-Z160TZ主要應用于半導體行業(yè)、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測試。探針臺從操作上來區(qū)分有:手動,半自動,全自動從功能上來區(qū)分有:溫控探針臺,真空探  針臺(低溫探針臺),RF探針臺,LCD平板探針臺,霍爾效應探針臺,表面電阻率探針臺。普遍應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,可編程承片臺、探卡/探卡支架、打點器、探邊器、操作手柄等組成

  高低溫真空 探針臺應用:

  可應用于低溫或高溫真空環(huán)境下被測樣品的電學性能測試分析,如:半導體/微電子,電子,機電,物理,化學,材料,光電,納米,微機電/MEMS,生物芯片,航空航天等科學研究領域,以及IC設計/制造/測試/封裝、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生產(chǎn)制造領域。

  · 結構緊湊,適用于各種變溫測試

  · -196℃~400℃(配液氮致冷模塊)

  · 氣密腔室設計,可通保護氣氛

  · 4探針,手動定位(可擴展為6個)

  · 支持改動或定制

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真空探針臺KT-Z160TZ參數(shù)

 

 

真空腔體

 

腔體材質

 

304不銹鋼

 

上蓋開啟

 

鉸鏈側開

 

加熱臺材質

 

304不銹鋼

 

內腔體尺寸

 

φ160x90mm

 

觀察窗尺寸

 

Φ70mm

 

加熱臺尺寸

 

φ60mm

 

觀察窗熱臺間距

 

75mm

 

加熱臺溫度

 

﹣196~400℃

 

加熱臺溫控誤差

 

±1℃

 

真空度

 

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

 

允許正壓

 

≤0.1MPa

 

真空抽氣口

 

KF25真空法蘭

 

氣體進氣口

 

3mm-6mm卡套接頭

 

電信號接頭

 

SMA轉BNC X 4

 

電學性能

 

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

 

探針數(shù)量

 

4探針

 

探針材質

 

鎢針  

 

探針尖

 

10μm

 

探針移動平臺

 

X軸移動行程

 

30mm    ±15mm

 

X軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Y軸移動行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Y軸控制精度

 

≤0.01mm

 

Z軸移動行程

 

13mm    ±12.5mm

 

Z軸控制精度

 

≤0.01mm

 

電子顯微鏡

 

顯微鏡類別

 

物鏡

 

物鏡倍數(shù)

 

0.7-4.5倍

 

工作間距

 

90mm

 

相機

 

sony 高清

 

像素

 

1920※1080像素

 

圖像接口

 

VGA

 

LED可調光源

 

 

顯示屏

 

8寸

 

放大倍數(shù)

 

19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm

 

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