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產(chǎn)品中心

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高溫氣敏測試臺(tái) 真空探針臺(tái)

產(chǎn)品簡介

高溫氣敏測試臺(tái) 真空探針臺(tái),體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。

產(chǎn)品型號(hào):KT-0904T-RL
更新時(shí)間:2024-04-30
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1696
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品牌鄭科探

高溫氣敏測試臺(tái) 真空探針臺(tái),體型平板大小,功能齊全,帶高低溫(-196℃到400℃),探針尖10μm。

模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可以使探針臺(tái)在一個(gè)基本平臺(tái)的基礎(chǔ)上不斷的進(jìn)行升級(jí)??筛鶕?jù)測試環(huán)境和測試條件的改變而進(jìn)行現(xiàn)場升級(jí)。增加高低溫等,以滿足用戶新的要求。

  • 可處理不同尺寸的晶圓

  • 可測試芯片、晶圓

  • 可處理薄的和彎曲的晶圓或者硅和III-V 族化合物

  • 模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),具有較好的靈活性

高溫氣敏測試臺(tái) 真空探針臺(tái)參數(shù)

真空腔體

類型

加熱型350℃    或者加熱制冷型 室溫到350℃ 室溫到-190℃

腔體材質(zhì)

304不銹鋼

腔體內(nèi)尺寸

φ90x40mm

腔體上視窗尺寸

Φ42mm(選配凹視窗Φ22mm)

腔體抽氣口

KF16

腔體進(jìn)氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體出氣口

公制3mm 6mm氣管接頭 英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選

腔體正壓

≤0.05MPa

腔體真空度

機(jī)械泵≤5Pa (5分鐘)  分子泵≤5E-3Pa(30分鐘)

樣品臺(tái)

樣品臺(tái)材質(zhì)

304不銹鋼

樣品臺(tái)尺寸

26X26mm

樣品臺(tái)-視窗 距離

30mm(可選凹視窗間距15mm)

樣品臺(tái)測溫傳感器

A    級(jí)PT100鉑電阻

樣品臺(tái)溫度

室溫到350℃(可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃)

樣品臺(tái)測溫誤差

±0.2℃

樣品臺(tái)變溫速率

高溫10℃/min    低溫5℃/min  最大值

溫控儀

溫度顯示

7寸人機(jī)界面

溫控類型

標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定(可選30段編程控溫)

溫度分辨率

0.1℃

溫控精度

±0.5℃

溫度信號(hào)輸入類型

PT100熱電阻 (可選 K    S  B型熱電偶)

溫控輸出

直流線性電源加熱(液氮流量線性控制液氮制冷)

輔助功能

溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出 實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線

探針

電信號(hào)接頭

配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭  BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米

電學(xué)性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ     介質(zhì)耐壓 ≤200V    電流噪聲 ≤10pA

探針數(shù)量

4探針(可定做6探針)

探針材質(zhì)

鍍金鎢針

探針尖

10μm

探針移動(dòng)平臺(tái)

X軸移動(dòng)行程

12mm    ±6mm

X軸控制精度

≤5μm

Y軸移動(dòng)行程

12mm    ±6mm

Y軸控制精度

≤5μm

Z軸移動(dòng)行程

12mm    ±6mm

Z軸控制精度

≤5μm

數(shù)碼顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡放大+電子放大

顯微鏡放大倍數(shù)

100倍

顯微鏡工作間距

50-150mm

相機(jī)分辨率

1080P  60幀   

相機(jī)信號(hào)輸出

HDMI輸出+USB輸出

LED可調(diào)光源

LED光源

顯示屏

5寸 屏幕一體機(jī)





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